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ターボ分子ポンプ排気システム HiCube

ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ排気システムの特徴

・大学官庁等の研究機関で圧倒的な実績
・業界トップレベルの基本性能
・ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
・付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社真空計のモニタリングが可能
・アクセサリー類の自動認識
・ワールドワイドサービス
・ユニットからターボ分子ポンプの切離しが可能(オプション)

ハイキューブエコ

・卓上設置可能なコンパクト設計
・持ち運び可能な軽量設計
・ワンタッチで高真空まで排気可能
・ターボ分子ポンプ&粗排気ポンプ(ダイアフラムポンプ)を
  自由に組合せ可能
・ターボ分子ポンプと背圧ポンプを自由に組合せ可能
・真空計Active Lineシリーズ、Digi Lineシリーズの接続、表示が可能
  ※真空計独立制御は不可/単位(hPa)
    (一部非対応の真空計がございます。詳細はお問い合わせください)
機種接続フランジ排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
背圧ポンプ
(ダイアフラムポンプ)
カタログ
HiCube30 EcoNW40221.0×10-5MVP015ー2(15L/min)
圧縮段数:2

MVP015-4(13L/min)
圧縮段数:4

MVP015-3(30L/min)
圧縮段数:3

※段数が大きいほど
水分に対する排気能力が高い
ISO63-K32
ICF11432
HiCube80 EcoNW40351.0×10-5
ISO63-K67
ICF1141.0×10-6
HiCube300 EcoISO100-K2601.0×10-5
ICF1521.0×10-6
HiCube300H Eco
高圧縮比モデル
ISO100-K2601.0×10-5
ICF1521.0×10-8
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

ハイキューブクラシック

・自動ベントバルブが標準装備
・キャスター付き
・ターボ分子ポンプ&粗排気ポンプを自由に組合せが可能
 (ロータリーポンプまたはダイヤフラムポンプを選択)
・フォアバキュームバルブの追加が可能
・真空計Active Lineシリーズ、Digi Lineシリーズの接続、表示が可能
  ※真空計独立制御は不可/単位(hPa)
    (一部非対応の真空計がございます。詳細はお問い合わせください)
機種接続フランジ排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
背圧ポンプ
カタログ
HiCube80 classicNW40351.0×10-5ダイアフラムポンプ
油回転ポンプ

ISO63-K67
ICF114671.0×10-6
ダイアフラムポンプ
5.0×10-8
油回転ポンプ
HiCube300 classic ISO100-K2601.0×10-5
ダイアフラムポンプ
油回転ポンプ
ICFICF1521.0×10-6
ダイアフラムポンプ
5.0×10-8
油回転ポンプ
HiCube300H classic
高圧縮比モデル 
ISO100-K2601.0×10-5
ダイアフラムポンプ
油回転ポンプ
ICF1521.0×10-8
ダイアフラムポンプ
油回転ポンプ
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。
上記以外の排気速度もラインナップに御座いますので、ご希望の際はお問い合わせください。

ハイキューブプロ

・自動ベントバルブをオプション追加可能
・キャスター付き
・ターボ分子ポンプ&粗排気ポンプを自由に組合せが可能
 (ロータリーポンプまたは多段ルーツ型ドライポンプを選択)
・フォアバキュームバルブの追加が可能
・真空計Active Lineシリーズ、Digi Lineシリーズの接続、表示が可能
  ※真空計独立制御は不可/単位(hPa)
    (一部非対応の真空計がございます。詳細はお問い合わせください)
機種接続フランジ排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
背圧ポンプ
カタログ
HiCube80 ProNW40351.0×10-5ドライポンプ
油回転ポンプ
ISO63-K67
ICF114675.0×10-8
HiCube300 Pro ISO100-K2601.0×10-5
ICFICF1525.0×10-8
HiCube300H Pro
高圧縮比モデル 
ISO100-K2601.0×10-5
ICF1521.0×10-8
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。
上記以外の排気速度もラインナップに御座いますので、ご希望の際はお問い合わせください。

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