ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ排気システムの特徴

・大学官庁等の研究機関で圧倒的な実績

・業界トップレベルの基本性能

・ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動

・付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社真空計のモニタリングが可能

・アクセサリー類の自動認識

・ワールドワイドサービス

・ユニットからターボ分子ポンプの切離しが可能（オプション）

ハイキューブエコ

・卓上設置可能なコンパクト設計

・持ち運び可能な軽量設計

・ワンタッチで高真空まで排気可能

・ターボ分子ポンプ&粗排気ポンプ(ダイアフラムポンプ)を

  自由に組合せ可能

・ターボ分子ポンプと背圧ポンプを自由に組合せ可能

・真空計Active Lineシリーズ、Digi Lineシリーズの接続、表示が可能

  ※真空計独立制御は不可/単位(hPa)

    (一部非対応の真空計がございます。詳細はお問い合わせください）

機種	接続フランジ	排気速度 N2(l/s)	到達真空度 (Pa)	背圧ポンプ (ダイアフラムポンプ)	カタログ
HiCube30 Eco	NW40	22	1.0×10-5	MVP015ｰ2(15L/min) 圧縮段数：2 MVP015-4(13L/min) 圧縮段数：4 MVP015-3(30L/min) 圧縮段数：3 ※段数が大きいほど 水分に対する排気能力が高い	
	ISO63-K	32
	ICF114	32
HiCube80 Eco	NW40	35	1.0×10-5		
	ISO63-K	67
	ICF114		1.0×10-6
HiCube300 Eco	ISO100-K	２60	1.0×10-5		
	ICF152		1.0×10-6
HiCube300H Eco 高圧縮比モデル	ISO100-K	２60	1.0×10-5		
	ICF152		1.0×10-8

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

ハイキューブクラシック

・自動ベントバルブが標準装備

・キャスター付き

・ターボ分子ポンプ&粗排気ポンプを自由に組合せが可能

 （ロータリーポンプまたはダイヤフラムポンプを選択）

・フォアバキュームバルブの追加が可能

・真空計Active Lineシリーズ、Digi Lineシリーズの接続、表示が可能

  ※真空計独立制御は不可/単位(hPa)

    (一部非対応の真空計がございます。詳細はお問い合わせください）

機種	接続フランジ	排気速度 N2(l/s)	到達真空度 (Pa)	背圧ポンプ	カタログ
HiCube80 classic	NW40	35	1.0×10-5	ダイアフラムポンプ 油回転ポンプ	
	ISO63-K	67
	ICF114	67	1.0×10-6	ダイアフラムポンプ
			5.0×10-8	油回転ポンプ
HiCube300 classic	ISO100-K	260	1.0×10-5	ダイアフラムポンプ 油回転ポンプ
	ICFICF152		1.0×10-6	ダイアフラムポンプ
			5.0×10-8	油回転ポンプ
HiCube300H classic 高圧縮比モデル	ISO100-K	２60	1.0×10-5	ダイアフラムポンプ 油回転ポンプ
	ICF152		1.0×10-8	ダイアフラムポンプ 油回転ポンプ

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

上記以外の排気速度もラインナップに御座いますので、ご希望の際はお問い合わせください。

ハイキューブプロ

・自動ベントバルブをオプション追加可能

・キャスター付き

・ターボ分子ポンプ&粗排気ポンプを自由に組合せが可能

 （ロータリーポンプまたは多段ルーツ型ドライポンプを選択）

・フォアバキュームバルブの追加が可能

・真空計Active Lineシリーズ、Digi Lineシリーズの接続、表示が可能

  ※真空計独立制御は不可/単位(hPa)

    (一部非対応の真空計がございます。詳細はお問い合わせください）

機種	接続フランジ	排気速度 N2(l/s)	到達真空度 (Pa)	背圧ポンプ	カタログ
HiCube80 Pro	NW40	35	1.0×10-5	ドライポンプ 油回転ポンプ	
	ISO63-K	67
	ICF114	67	5.0×10-8
HiCube300 Pro	ISO100-K	260	1.0×10-5
	ICFICF152		5.0×10-8
HiCube300H Pro 高圧縮比モデル	ISO100-K	２60	1.0×10-5
	ICF152		1.0×10-8

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

上記以外の排気速度もラインナップに御座いますので、ご希望の際はお問い合わせください。