マスフローコントローラーとは

画像は1000シリーズ

マスフローコントローラーは、電気信号によりガスの流量制御を自動的に制御します。
流体の質量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力等の変化による補正を行う必要がありません。

主な用途として、高精度な流量計測・制御が求められる製造プロセス

• 半導体製造
• 燃料電池
• 有機EL
• 分析装置

• 実験設備　等で　幅広く使用されています。