本文へ移動

マスフローコントローラー&ガス混合器

マスフローコントローラーとは

画像は1000シリーズ
マスフローコントローラーは、電気信号によりガスの流量制御を自動的に制御します。
流体の質量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力等の変化による補正を行う必要がありません。

主な用途として、高精度な流量計測・制御が求められる製造プロセス
  • 半導体製造
  • 燃料電池
  • 有機EL
  • 分析装置
  • 実験設備 等で 幅広く使用されています。

主な製品 ~各製品画像をクリックすると紹介ページへ移動します~

お気軽にお問い合わせください

2024年
05月
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
【営業時間】平日 9:00~17:30