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真空チャンバー設計および製作

真空チャンバーの調達で困りごとはございませんか?

弊社は国内外の真空分野に特化した協力会社と一体になって真空チャンバーの設計・加工・組立から現地納入に
至るまで、トータルでご提供致します。

フランジなどの規格部品は当社より支給する強みを生かし、中間マージンのカットなどコスト面・納期面はじめ
お客様のご希望に幅広く対応いたします。

小型から大型まで手掛けております。
お気軽にお問い合わせください。
【主な材質】
 ・ステンレス:SUSD304,  SUS316L
   ・アルミ:AL5052
   その他材質はご相談ください

 【主な表面仕上げ】
 ・酸洗仕上げ
 ・GBB処理
 ・バフ研磨仕上げ (#400)
   ・バフ+電解研磨仕上げ
 他お問い合わせください

主な製造および納入実績

チャンバー組立て
超高真空チャンバー
チャンバー組立て
高真空チャンバー
チャンバー加工
高真空チャンバー
チャンバー加工
フランジ&板付きベローズ
真空チャンバー
支柱付きベローズ配管

その他 ~オプション~

三次元測定機による寸法検査
  • 「Heリークテスト検査証明書」の発行
  • 銅ガスケット・Oリングやフランジボルト 付属品添付
  • 三次元測定機による寸法検査 (左画像を参照ください)
  • チャンバー鏡面仕上げ (複合電解研磨)
  • 専用配管およびベローズ製作 (ガス配管含む)
  • 専用架台の製作 (材質・色等ご指定承ります)
  • 現地での据え付け作業および真空引き立ち合い    他

お気軽にお問い合わせください

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【営業時間】平日 9:00~17:30