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高純度ガス用フィルター

高純度ガス用フィルターとは

ステンレス製とPTFE製ございます (画像はステンレス製SS-Aシリーズ)
本製品は主に、半導体製造プロセス向けに開発された高純度ガス用フィルターです。

特徴
・高い除粒子効果およびろ過精度
・耐圧性および耐腐食性に優れています
・優れたガス置換特性
・100% Heリーク試験済 (1.0 x 10 -9 atm cc/sec)
・100% パーティクル試験済 (0.0025μm以上未検出)
・クラス100クリーンルームで製造・試験・梱包

【共通仕様 】
粒子補足率　　 99.9999999%
ろ過精度　　　 0.0025μm
ハウジング材質 SUS316 ハステロイC-22
内面仕上げ　　 ≦Ra 5μinch (≒0.127μM)

他社製品ご購入のユーザー様でお困りごとはございませんか？

・少しでも早く入手したい
・価格面の見直し検討している
・現行の型式製品同等で見積ってほしい　等々

弊社ではこうしたお客様の声に応えており、
納入実績も豊富です。

オール316Lステンレス製 ガスフィルター (エレメント金属焼結タイプ)

SS-A シリーズ (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：15～3000 SLPM (9LRV)
  • 高温・高圧用途にも使用できます
  • 最高入口圧力：21MPa@20℃
     / 最大使用温度：460℃(不活性ガス)
SS-C シリーズ (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：1,500 SLPM (9LRV)
  • 高温用途にも使用できます
  • 最高入口圧力：0.98MPa@20℃
     / 最大使用温度：460℃(不活性ガス)
SS-H シリーズ (詳細はこちらをクリック) 
  • 流量範囲：100～600 SLPM (9LRV)
  • 高温用途にも使用できます
  • 最高入口圧力：12MPa@20℃
     / 最大使用温度：460℃(不活性ガス)
ガスケットフィルター (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：405 SLPM (9LRV)
  • 高温、高圧用途にも使用できます
  • 最大使用温度：460℃(不活性ガス)

PTFE ガスフィルター ～ 耐腐食性ガスおよび半導体プロセスガスに対し優れた適合性～

ST-A シリーズ (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：50～150 SLPM (9LRV)
  • エレメント材質：PTFE製
  • 最高入口圧力：0.98MPa@20℃
     / 最大使用温度：120℃(不活性ガス)
ST-B シリーズ (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：～600 SLPM (9LRV)
  • エレメント材質：PTFE製
  • 最高入口圧力：0.98MPa@20℃
     / 最大使用温度：120℃(不活性ガス)
ST-C シリーズ (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：1,500～7,500 SLPM (9LRV)
  • エレメント材質：PTFE製
  • 最高入口圧力：0.98MPa@20℃
     / 最大使用温度：120℃(不活性ガス)
ST-H MAXシリーズ (詳細はこちらをクリック)
  • 流量範囲：150～300 SLPM (9LRV)
  • エレメント材質：PTFE製
  • 最高入口圧力：0.98MPa@20℃
     / 最大使用温度：120℃(不活性ガス)

お気軽にお問い合わせください

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