高純度ガス用圧力計
高純度ガス用圧力計
HPG1シリーズ (EPグレード)
HPG2シリーズ (BAグレード) を
ラインナップしております。
半導体、電子、医療、バイオテクノロジーおよび製薬業界で使用される高純度ガスシステム用に設計されております。
製品仕様
サイズ (ケース外径) 35mm, 50mm, 63mm | |
形状 | 立形 (Low mount), 背面型 (Center back mount), 埋め込み形 |
接続ねじ | 1/4NPT |
1/4"メタルフェイスシール継手 (おす、めす) *いずれもスイベルタイプ | |
1/4"ダブルフェルール継手 | |
1/4"チューブエンド | |
材 質 | ブルドン管：SUS316L (表面処理：EPグレード、BAグレード) |
ケース：SUS304 | |
ムーブメント (内側)： ステンレス製 | |
カバー & 窓：ポリカーボネイト | |
ダイヤル：アルミニウム (白色) ポインターストップピン付き | |
ポインター：アルミニウム合金 (黒色) | |
精 度 | グレードA：±1.0% FS (サイズ50mm, 63mm) |
グレードB：±2.0% FS (サイズ35mm, 50mm, 63mm) | |
使用温度 | 環境温度 -40℃～+65℃ |
流体温度 最大+100℃ | |
Heリークレート | 1.0 x 10-10 Pa m3/sec以下 |
洗浄・製作・検査仕様
製 品 HPG1 / HPG2 | |
清浄度 | ASME B40.1000の清浄度レベル4 |
洗浄 | 超音波洗浄 |
組立 / 調整・校正 | 組立：クラス10,000 CR / 調整・校正：クラス100 CR |
リーク検査 | Heリーク検査 (真空吹き付け法) |
禁油・禁水 | 禁油・禁水処理 |
包装 | ポリエチレン材 真空二重包装 |
型式選定、圧力レンジならびに寸法図
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TEL.
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