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高純度ガス用圧力計

高純度ガス用圧力計

高純度ガス用圧力計
 HPG1シリーズ (EPグレード)
 HPG2シリーズ (BAグレード) を
ラインナップしております。

半導体、電子、医療、バイオテクノロジーおよび製薬業界で使用される高純度ガスシステム用に設計されております。

製品仕様

サイズ (ケース外径)     35mm, 50mm, 63mm
形状
立形 (Low mount), 背面型 (Center back mount), 埋め込み形
接続ねじ
1/4NPT
1/4"メタルフェイスシール継手 (おす、めす) *いずれもスイベルタイプ
1/4"ダブルフェルール継手
1/4"チューブエンド
材 質
ブルドン管:SUS316L (表面処理:EPグレード、BAグレード)
ケース:SUS304
ムーブメント (内側): ステンレス製
カバー & 窓:ポリカーボネイト
ダイヤル:アルミニウム (白色)  ポインターストップピン付き
ポインター:アルミニウム合金 (黒色)
精 度
グレードA:±1.0% FS (サイズ50mm, 63mm)
グレードB:±2.0% FS (サイズ35mm, 50mm, 63mm)
使用温度
環境温度 -40℃~+65℃
流体温度 最大+100℃
Heリークレート
1.0 x 10-10 Pa m3/sec以下

洗浄・製作・検査仕様

製 品           HPG1 / HPG2           
清浄度
ASME B40.1000の清浄度レベル4
洗浄
超音波洗浄
組立 / 調整・校正
組立:クラス10,000 CR / 調整・校正:クラス100 CR
リーク検査
Heリーク検査 (真空吹き付け法)
禁油・禁水
禁油・禁水処理
包装
ポリエチレン材 真空二重包装

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