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ガスディフューザー

ガスディフューザーとは

ガスディフューザーは主にロードロックチャンバーンバーを大気開放する際にウェハ等の汚染を防ぎ、ベントサイクルタイム短縮とシステムのスループットを向上させる拡散器です。

 ・エレメント部 SUS316L
 ・高温下でのアプリケーションにも使用可能です。
 ・コンパクトなサイズで且つ、衝撃や振動にもえる高い信頼性を
  持っております      

ガスディフューザーの概要

  • 6~300 SLPMの広範囲な流量。
  • 高純度半導体ガスに適合します。
  • 3ナノメータ粒子フィルタリング機能により、圧力降下を最小限に抑えながら高い流量効率を
    維持します。
  • 5Ra電解研磨表面により内部汚染を防止します。
  • 半導体プロセス基準を満たすために、DI水洗浄後に高温窒素によるベーキングを施しております。
  • 全数100%ヘリウムリークテスト実施しております。

製品仕様

除去評価:≧ 0.0025μm
保持力 :99.9999999% 以上 0.0025μm までのすべての粒子を除去
定格流量@109 :70SLPM (A50)

                        60SLPM (B40)
                        80SLPM (B70)
                        90SLPM (B74)
                        300SLPM (C80)
                        100SLPM (NW25X8VM)  
材質:フィルターエレメント SUS316L
          ハウジング     SUS316L / SUS316L VAR
エレメントの動作状態:

          最大入口圧力 1MPa
          最大動作温度 460℃
 内部表面仕上げ   ≦Ra 10μin (BA) / ≦Ra 5 μin (EP)    

 材質、取付形状、寸法ならびに詳細データはこちらよりご参照ください。

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