ガスディフューザーとは

ガスディフューザーは主にロードロックチャンバーンバーを大気開放する際にウェハ等の汚染を防ぎ、ベントサイクルタイム短縮とシステムのスループットを向上させる拡散器です。

 ・エレメント部　SUS316L

 ・高温下でのアプリケーションにも使用可能です。

 ・コンパクトなサイズで且つ、衝撃や振動にも耐える高い信頼性を
　 持っております 。