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真空部品

NW series

NW/KF(Klein Flange)規格は真空分野での低真空~高真空領域で使用される配管継手部品から構成されます。
同じサイズのフランジの間に、封止するためのOリングをつけてクランプで締め付けることで、真空を保つことができます。
NW/KF規格は、真空装置やコンポーネントを構成する中でも真空配管や排気管部品等、真空領域を作り出す為には不可欠な役割を担っております。
当社では国内・海外のメーカーや工場と協力し、JISパイプに適応するフランジや継手の規格・販売しております。
材質はSUS304をはじめSUS316Lやアルミなどの製作も承っております。


CF series

物流事業
CF(Conflat Flange)規格製品はSUS304Lを標準に取扱いをしております。
CF規格の形状は真空側に彫られた尖ったミゾ(ナイフエッジ)に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込み
ボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます。

ISO series

国際規格(ISO)に準じたフランジ、継手製品を取り扱っております。
ISO規格には2つのタイプがあります。
①クロー締めタイプ(K):ツメ状の形をしており、上下からフランジを締め込み専用のクランプで固定する。
②ボルト締めタイプ(F):ボルト・ナットで構成され、上下からフランジを締め込みます。
いずれも用途に応じて使い分けられます。

JIS series

JIS規格(JIS B 2290)に定められた寸法及び品質のフランジであり、主に低真空から高真空領域までの真空配管やチャンバーなどの継手類等に使用されています。
規格の名称であるVFVGの頭文字Vとは『Vacuum』の略でその後のFとは『Flat』。Gとは『Gasket』の略であると言われており、相手フランジによって使い分けます。
フランジのシール材には主にV番と呼ばれるOリング規格を使用します。V番のOリングはあらかじめJIS規格のフランジ溝に合った寸法で各フランジごとに規格化されているため選定が容易にでき、在庫もございます。また弊社では、通常のJISフランジの他に、タップ穴や回転フランジと言った特殊なフランジタイプの製作も可能ですので、ご相談ください。


ADPTOR Series

NW-ICF変換フランジをはじめ規格フランジ同士を溶接もしくは一体加工での変換フランジを作成いたします。そのほかフランジにダブルフェルール継手やパイプを溶接した形状などお客様のご要望に合わせた多種多様な形状にお応えいたします。
もちろん溶接構造の場合は、弊社規格値によるHEリークテストを実施し、漏れ率ゼロを徹底しております。

View PORT Series

ビューポートはクラス10,000のクリーンルーム内で製造されています。
超高真空用や高真空用など用途によってサイズはNW(KF) / CF /ISOなどをラインナップしております。
基本的なフランジ材質はSS304Lとし、覗き窓の材質はコバールガラスを使用しておりますが、SS316LN材をご希望の場合は別途お問合せください。
高真空用ビューポートの構造はOリングシールを用いております。
また超高真空用ビューポートは溶接構造となっております。


Flexible Hose & Bellows Series

規格フランジを使ったベローズやフレキシブルホースを製作いたします。そのほかガス配管用インチサイズのフレキや両端継手を溶接したフレキなどを製作いたします。

フレキとベローの違いについて・・・
どちらも蛇腹形状をしており、その区別に明確な規定はございません。
例外はありますが、弊社では以下の様に区別し呼んでおります。

フレキ・・・主に曲げ変位、軸直角変位の吸収に用います。
ベローズ・・・主に軸方位変位、角度変位の吸収に用います。

デジタルカタログ

真空部品総合カタログVer4

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