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真空部品

NW series

NW規格フランジ 組み立てイメージ
NW/KF (Klein Flange)規格は真空分野での低真空~高真空領域で使用される配管継手部品から構成されます。
同じサイズのフランジの間に、封止するためのOリングをつけてクランプで締め付けることで、真空を保つことができます。

NW/KF規格は、真空装置やコンポーネントを構成する中でも真空配管や排気管部品等、真空領域を作り出す為には不可欠な役割を担っております。

当社では国内・海外のメーカーや工場と協力し、JISパイプに適応するフランジや継手を販売しております。

主な材質:
 SUS304
 SUS316L
 アルミ など


CF (ICF) series

物流事業
CF(ICF)規格フランジ 組み立てイメージ
CF (Conflat Flange) 規格製品はSUS304Lを標準に取り扱っております。

CF規格の形状は真空側に彫られた尖ったミゾ(ナイフエッジ)に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込み、
ボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます。

ISO series

ISO規格フランジ 組み立てイメージ
国際規格(ISO)に準じたフランジ、継手製品を取り扱っております。

ISO規格には2つのタイプがあります。

  ①クロー締めタイプ(K):

  ツメ状の形をしており、上下からフランジを
  締め込み専用のクランプで固定します。
  ②ボルト締めタイプ(F):

  ボルト/ナットで構成され、上下からフランジを 
  締め込みます。

いずれも用途に応じ使い分けられております。

JIS series

JIS規格フランジ 組み立てイメージ
JIS規格(JIS B 2290)に定められた寸法及び品質のフランジで、主に低真空から高真空領域までの真空配管やチャンバーなどの継手類等に使用されています。

規格の名称であるVFVGの頭文字Vとは『Vacuum』の略で、

 Fとは『Flat』
 Gとは『Gasket』の略であると言われており、

相手フランジによって使い分けられます。

フランジのシール材には主にV番と呼ばれるOリング規格を使用します。V番のOリングはあらかじめJIS規格のフランジ溝に合った寸法で各フランジごとに規格化されているため、選定が容易にできます。

弊社では在庫化し、通常のJISフランジの他にタップ穴や回転フランジ等の特殊なフランジタイプの製作も可能です。
お気軽にお問い合わせください。


ADAPTOR series

ゲージポート組み付けイメージ
NW-CF変換フランジをはじめ、規格フランジ同士を溶接もしくは一体加工での変換フランジを作成いたします。

そのほかフランジにリークポート、ダブルフェルール継手やパイプを溶接した形状など、お客様のご要望に合わせた多種多様な形状にお応えいたします。

溶接構造の場合は、弊社規格値によるHeリークテストを実施し、漏れ率ゼロを徹底しております。
お気軽にお問い合わせください。

Viewport series

真空チャンバー イメージ
ビューポートはクラス10,000のクリーンルーム内で製造されています。

フランジは超高真空用や高真空用など用途によって、

 NW(KF) 
 CF  (ICF)
 ISO     などラインナップしております。

フランジ材質はSUS304Lとし、覗き窓の材質はコバールガラスを使用しております。
SUS316Lや非磁性のSUS316LN材も取り扱っております。
別途お問い合わせください。

高真空用ビューポートの構造はOリングシールを用いております。
また超高真空用ビューポートは溶接構造となっております。


Flexible Hose & Bellows Series

ベローズ、フレキシブルホース&支柱付きベローズイメージ
規格フランジ付きベローズやフレキシブルホースを製作いたします。

その他、ご要望に応じて

 ガス配管用インチサイズのフレキ
 両端継手を溶接したフレキ     などを製作いたします。

フランジ形状や長さ等、ご指定いただき見積いたします。

フレキとベローズの違いについて・・・

どちらもジャバラ形状をしており、その区別に明確な規定はございません。

例外はありますが、弊社では以下の様に区別し呼んでおります。

 フレキ・・・・主に曲げ変位、軸直角変位の吸収に用います。
 ベローズ・・・主に軸方位変位、角度変位の吸収に用います。

デジタルカタログ

真空部品総合カタログVer4

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