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Viewport Series

Viewport の紹介

真空ビューポートは主に
・大気側からチャンバー内部のプロセス観察窓
・大気側からチャンバー内へレーザーなどのビーム照射
  (光学材料) 等に使用されます。

主な取り扱い窓材
・コバール (Kodial)
・サファイア
・溶融石英 (Fused Silica) 他
 (「溶融石英」については、透過率グラフ横の説明欄を
 参照ください)

Viewport の使用例

コバール (Kodial) の透過率グラフ

透過率グラフをクリックすると拡大できます

サファイア の透過率グラフ

透過率グラフをクリックすると拡大できます

溶融石英 (Fused Silica) の透過率グラフ

透過率グラフをクリックすると拡大できます

溶融石英とは?

溶融石英は溶融シリカシリカガラスとも呼ばれます。

石英 (SiO2) から作成されるもので、SiO2純度が高いものを言います。
水晶の粉末を溶かしてガラス状にしたもので、物理的性質は等方性の材料で以下の利点/用途を有します。

利点
・熱衝撃に対する安定性
・低い熱膨張率
・高いレーザー損傷しきい値
・UV (紫外線) からIR (赤外線) 領域での優れ

 た透過性 

主な用途
・ビーカーやフラスコなどの理化学用途
・観察窓用の材料
・レンズ/ミラー基板
・光ファイバー材料  など

Viewport Series

ビューポートはクラス10,000のクリーンルーム内で製造されています。 フランジは超高真空用や高真空用など用途によってNWKF) ,CF, ISOなどをラインナップしております。

Kodial ビューポート Technical Data.


UHV 
HV 
ビューポートのシール材
メタル skirt
メタルskirt または Oリングseal
ビューポートの取り付け材
無酸素銅ガスケット
Oリング
圧力範囲
760 Torr ~ 1x10-10 Torr
1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar
100 kPa ~1.13x10-11kPa
760 Torr ~ 1x10-8 Torr
1,000mbar ~ 1.33x10-8mbar
100 kPa ~1.13x10-9kPa
リークレート
1x10-10Tor l/s, He
1.33x10-10mbar l/s, He
1.13x10-11kPa l/s, He
1x10-9Tor l/s, He
1.33x10-9mbar l/s, He
1.13x10-10kPa l/s, He
許容温度
-20℃ ~ 350℃
-20℃ ~ 200℃
ベーキング温度
300℃
150℃
1分間あたりの最大温度変化
3℃
3℃
主なフランジ材
SUS304L
SUS304L

Sapphire および Fused Silica ビューポート Technical Data.


Sapphire 
Fused Silica
ビューポートのシール材
メタル skirt
メタルskirt 
ビューポートの取り付け材
無酸素銅ガスケット
無酸素銅ガスケット
圧力範囲
760 Torr ~ 1x10-10 Torr
1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar
100 kPa ~1.13x10-9kPa
760 Torr ~ 1x10-10 Torr
1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar
100 kPa ~1.13x10-9kPa
リークレート
1x10-10Tor l/s, He
1.33x10-10mbar l/s, He
1.13x10-9kPa l/s, He
1x10-10Tor l/s, He
1.33x10-10mbar l/s, He
1.13x10-9kPa l/s, He
許容温度
-20℃ ~ 200℃
-20℃ ~ 200℃
ベーキング温度
150℃
150℃
1分間あたりの最大温度変化
3℃
3℃
主なフランジ材
SUS304L
SUS304L

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