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新型スクロールポンプ HiScroll

ファイファーバキューム社 新型スクロールポンプの特徴

・業界トップレベルの基本性能
・世界最小クラスの静音性を実現
     (分析装置・研究用途にも適してます)
・長メンテナンスサイクル
・お客様で簡単にチップシール交換が可能
・真空計が標準装備されているタイプも有り
   高精度なピエゾピラニ真空計を搭載
   測定範囲:5×10-2Pa~1.2×105Pa
   別途OmniControl等を用いることでパラメータ変更や
   真空度のモニタリングが可能
   真空度制御モードが使用可能
・ターボ分子ポンプ/真空計と一括制御が可能
・ワールドワイドサービス
機種排気速度
(L/min)
吸気口排気口到達圧力
(Pa)
リークレート
(Pa*m3/s)
騒音レベル
dB(A)
重量
(kg)
カタログ
HiScroll 6100NW252
5.0×10-7
4819
HiScroll 12200NW250.95.0×10-7
4724
HiScroll 18300NW250.75.0×10-7
4723
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

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