ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプの特徴

・業界トップクラスの基本性能

  圧縮比、到達真空度、ガス流量など

・使用環境に合わせて仕様選択可能

  ドライブ回路搭載（※電源搭載モデルもございます）

  ドライブ回路切離しタイプ

・アクセサリー類の自動認識（プラグ&プレイ）

  面倒な配線作業などが不要

・ワールドワイドサービス

  日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

軸受型（ハイブリッドベアリング）ターボ分子ポンプ

機種	接続フランジ	排気速度 N2(l/s)	排気速度 H2(l/s)	到達真空度 (Pa)	取付方向	カタログ
HiPace10	NW25	10	3.7	5.0×10-3	自由	
HiPace30	NW40	22	19	1.0×10-5		
	ISO63	32	20
	ICF114	32	20	5.0×10-8
HiPace80	NW40	35	38	1.0×10-5		
	ISO63	67	48
	ICF114			5.0×10-8
HiPace300H 高圧縮比モデル	ISO100-K ISO100-F	260	220	1.0×10-5		
	ICF152			1.0×10-8
HiPace300	ISO100-K ISO100-F	260	220	1.0×10-5		
	ICF152			5.0×10-8
HiPace350	ISO100-K	300	300	1.0×10-5		
	ICF152			5.0×10-8
HiPace450	ISO160-K	380	330	1.0×10-5		
	ICF203			5.0×10-8
Hipace700H 高圧縮比モデル	ISO160-K ISO160-F	685	555	1.0×10-5		
	ICF203			1.0×10-8
HiPace700	ISO160-K ISO160-F	685	555	1.0×10-5		
	ICF203			5.0×10-8

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

上記以外の排気速度もラインナップに御座いますので、ご希望の際はお問い合わせください。

磁気浮上型ターボ分子ポンプ

機種	接続フランジ	排気速度 N2(1/s)	到達真空度 (Pa)	取付方向	カタログ
HiPace300M	IS0100-K	255	5×10-8	自由	
	ISO100-F
	ICF152
HiPace700M	ISO160-K	685			
	ISO160-F
	ICF203
HiPace800M	ISO200-K	790			
	ISO200-F
	ICF253

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。