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ファイファーバキューム社ターボ分子ポンプ

ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプの特徴

・業界トップクラスの基本性能
  圧縮比、到達真空度、ガス流量など
・使用環境に合わせて仕様選択可能
  ドライブ回路搭載(※電源搭載モデルもございます。)
  ドライブ回路切離しタイプ
・アクセサリー類の自動認識(プラグ&プレイ)
  面倒な配線作業などが不要
・ワールドワイドサービス
  日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

軸受型(ハイブリッドベアリング)ターボ分子ポンプ

機種接続フランジ排気速度
N2(l/s)
排気速度
H2(l/s)
到達真空度
(Pa)
取付方向カタログ
HiPace10NW25103.75.0×10-3自由
HiPace30NW4022191.0×10-5
ISO633220
ICF11432205.0×10-8
HiPace80NW4035381.0×10-5
ISO636748
ICF1145.0×10-8
HiPace300H
高圧縮比モデル
ISO100-K
ISO100-F
2602201.0×10-5
ICF1521.0×10-8
HiPace300ISO100-K
ISO100-F
2602201.0×10-5
ICF1525.0×10-8
HiPace350ISO100-K3003001.0×10-5
ICF1525.0×10-8
HiPace450ISO160-K3803301.0×10-5
ICF2035.0×10-8
Hipace700H
高圧縮比モデル
ISO160-K
ISO160-F
6855551.0×10-5
ICF2031.0×10-8
HiPace700ISO160-K
ISO160-F
6855551.0×10-5
ICF2035.0×10-8
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。
上記以外の排気速度もラインナップに御座いますので、ご希望の際はお問い合わせください。

磁気浮上型ターボ分子ポンプ

機種接続フランジ排気速度
N2(1/s)
到達真空度
(Pa)
取付方向カタログ
HiPace300MIS0100-K2555×10-8自由
ISO100-F
ICF152
HiPace700MISO160-K685
ISO160-F
ICF203
HiPace800MISO200-K790
ISO200-F
ICF253
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。
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【営業時間】平日 9:00~18:00 
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