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質量分析計 PrismaPro

ファイファーバキューム社 質量分析計

四重極型質量分析計 (QMS) は分圧真空計の一種で、真空システム内の残留ガス組成を評価するためのもっとも典型的な測定器で、残留ガス分析計とも呼ばれています。

主な特徴として、
  • 高速測定・ワイドダイナミックレンジを実現したクラストップレベルの基本性能
  • 測定質量範囲・イオンソース形成・フィラメント材質・I/Oオプション等、用途に応じた構成を選択
  • 高機能な測定・分析用ソフトウェア「PV MassSpec」が標準添付
  • オープンなAPI、LaVIEW対応による独自ソフトの開発が可能
  • ファイファーバキューム社の誇るワールドワイドサービスにより、世界で60か所を超える拠点でのサービスに対応

QMG250 PrismaPro® 四重極質量分析型 残留ガス分析計

画像はQMG250 PrismaPro®  
クラストップレベルの基本性能:
 最小1ms/points の高速性能。イーサネットにより測定値はスムースにPCへ転送されます。
 バイアス化されたイオン化室の設計で実現された、低バックグランドと広いダイナミックレンジにより最小検知分圧は3 x 10-13Pa、さらにフィールド・アクシス技術の採用で、より高い感度を実現しています。

多彩なモジュールを選択可能:
 モジュールを自由に組み合わせできるモジューラーデザインにより、イオンソース形成・フィラメント材質・測定質量範囲等からアプリケーションや測定対象に合わせたユニットを構成できます。
 これにより特に産業・環境分析・研究開発・半導体生産・コーティング等の分野に適応。
 真空関連機器の総合メーカーでもあるファイファーバキューム社の多彩な製品群と組み合わせることで、適応アプリケーションの幅が広がります。

最新世代のソフトウェア PV MassSpec:
 PrismaPro®には新世代のPV MassSpecソフトウェアが添付されております。(Windows 10®対応)
  軽快な動作と測定の操作が容易であることに加え、測定データを計算・分析・エクスポートするためのプラットフォームとしてもご使用いただけます。
 測定方法は、質量スキャン測定・電流トレンド測定・分圧トレンド測定・定量トレンド測定とその組み合わせから選択でき、測定は自由な数式を使用して、 リアルタイムで計算・記録が可能です。

オープンなプログラミングインターフェイス:
 無償公開されるHTMLベースのプログラミングインターフェイス (JSON API) を使用して、PrismaProの直接制御をすることも可能です。加えて、デジタルおよびアナログ入出力、イーサネットなどの幅広いインターフェイスにより、システムへの統合も容易に行えます。また、LaView用ドライバも無償で提供されています。

日本語カタログはこちらよりご査収ください。 

技術データ

仕様/機種
OMG250    F1
OMG250    F2
OMG250   F3
OMG250  M1
OMG250     M2
OMG250    M3
ディテクター(検出器)
ファラデー (F)
C-SEM / ファラデー (M)
マスレンジ
(amu)
1~100
1~200
1~300
1~100
1~200
1~300
ロッドシステム (直径 / 長さ)
6mm / 125mm
最小検出限界 
ファラデー

(Pa)
4 x10-11
5 x10-11
7 x10-11


最小検出限界 C-SEM
3 x10-13
4 x10-13
5 x10-13
Ar感度、
ファラデー
5 x 10-2Pa 
最大許容圧力C-SEM
5 x10-3
5x10-3
5 x10-3
間接マスピークへの寄与  (40/41)
<10ppm
<20ppm
<50ppm
<10ppm
<20ppm
<50ppm

技術仕様

動作温度、分析菅    :200℃ (SEM動作時は最大150℃)
動作恩智、電子制御部   :5~50℃
ベーキング温度、分析菅  :300℃
接続フランジ       :DN40-CF-F
分解能 (10%ピーク長さ):0.5~2.5amu
滞在時間         :1ms~16s/amu
ピーク比の再現性     :±0.5%
インターフェイス     :イーサネット(EtherNet)
供給電圧         :100~240V AC, 50/60Hz

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