平素より弊社ウェブサイトを活用くださり、ありがとうございます。
この度本サイト内「半導体向け材料および高純度ガス配管継手類」へ新たに「ガスディフューザー」に掲載。取り扱いを開始し新たに紹介ページを設けました。
ガスディフューザーは主にプロセスチャンバーの大気開放時における粒子の飛散を防止する役割を担っております。
飛散を防ぐことにより、ベントサイクルタイムの短縮およびシステムのスループット向上の効果が見込まれます。
アプリケーションとして、半導体プロセスにおける以下の工程
- 成膜
- イオン注入
- ドライエッチング 等で使用されます。
お気軽にお問い合わせください。
