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真空計 Active Line

ファイファーバキューム社 真空計の特徴

・用途にあわせて最適な機種を選択できる豊富なバリエーション
・ワールドワイドサービス

Active Line

・幅広い測定レンジ (10-9Pa~5.5×106Pa)
・専用コントローラーと8種類(測定原理別)の測定子をラインナップ
・ゲージコネクターの形状が統一されているので、複数のコントローラーが不要
・最大 6chのゲージを1台のコントローラーに接続可能
・Pa、Torr、mbarと圧力単位の変更が可能
型式名称
フランジ
測定範囲(Pa)
上限下限
TPR280ピラニゲージNW16
ICF34
1.0×1055.0×10-2
TPR281 耐腐食性ピラニゲージ
TPR270ピラニゲージNW16
ICF34
1.0×105
1.0×10-2
TPR271耐腐食性ピラニゲージ5.0×10-2
PCR280ピラニ&キャパシタンス
コンビネーションゲージ
NW16
ICF34
1.5×1055.0×10-3
IKR360コールドカソードゲージNW25
NW40
ICF70
11.0×10-7
IKR361
IKR2705.0×10-9
PKR360ピラニ&コールドカソード
コンビネーションゲージ
NW25
NW40
ICF70
1.0×105
1.0×10-7
PKR361
IMR265プロセスイオンゲージNW16
NW25
NW40
ICF34
ICF70
1.0×105
2.0×10-4
PBR260ピラニ&ホットカソード
コンビネーションゲージ
NW25
NW40
ICF70
1.0×105
5.0×10-8
上記製品以外にもラインナップが御座いますので、お気軽にお問い合わせください。
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

ポンプ&真空計コントローラー Omni Control シリーズ

名称接続可能数真空度
表示形式
Omni Control1~2ch2ch同時可能
構成内容につきましてはお問い合わせください。

Active Line用共通コントローラー

型式名称接続可能数リレー回路真空度
表示形式
TPG366マキシゲージコントローラー666ch同時可能

お気軽にお問い合わせください

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