ファイファーバキューム社 真空計の特徴

・用途にあわせて最適な機種を選択できる豊富なバリエーション

・ワールドワイドサービス

Active Line

・幅広い測定レンジ （10^-9Pa～5.5×10⁶Pa）

・専用コントローラーと8種類（測定原理別）の測定子をラインナップ

・ゲージコネクターの形状が統一されているので、複数のコントローラーが不要

・最大 6chのゲージを1台のコントローラーに接続可能

・Pa、Torr、mbarと圧力単位の変更が可能

型式	名称	フランジ	測定範囲(Pa)
			上限	下限
TPR280	ピラニゲージ	NW16 ICF34	1.0×105	5.0×10-2
TPR281	耐腐食性ピラニゲージ
TPR270	ピラニゲージ	NW16 ICF34	1.0×105	1.0×10-2
TPR271	耐腐食性ピラニゲージ			5.0×10-2
PCR280	ピラニ&キャパシタンス コンビネーションゲージ	NW16 ICF34	1.5×105	5.0×10-3
IKR360	コールドカソードゲージ	NW25 NW40 ICF70	1	1.0×10-7
IKR361
IKR270				5.0×10-9
PKR360	ピラニ&コールドカソード コンビネーションゲージ	NW25 NW40 ICF70	1.0×105	1.0×10-7
PKR361
IMR265	プロセスイオンゲージ	NW16 NW25 NW40 ICF34 ICF70	1.0×105	2.0×10-4
PBR260	ピラニ&ホットカソード コンビネーションゲージ	NW25 NW40 ICF70	1.0×105	5.0×10-8

上記製品以外にもラインナップが御座いますので、お気軽にお問い合わせください。

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

ポンプ&真空計コントローラー Omni Control シリーズ

名称	接続可能数	真空度 表示形式
Omni Control	1～２ch	2ch同時可能

構成内容につきましてはお問い合わせください。

OmniControl 製品カタログ　はこちら

Active Line用共通コントローラー

型式	名称	接続可能数	リレー回路	真空度 表示形式
TPG366	マキシゲージコントローラー	6	6	6ch同時可能