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X-Yステージ

X-Yステージとは

X-Yステージとは、X軸 (左右) 方向とY軸(縦) 方向に動く位置決めステージです。

主な特徴として、
  • フランジサイズが汎用性の高いICF70またはICF114のため、設計および取り付けが容易です。
  • 超高真空領域での使用が可能です。
  • 移動距離が±5mmのため、精密な位置合わせが可能です。

技術仕様 ~ 各製品の外形寸法は別途お問い合わせください ~

フランジサイズ
(上-下)
ICF70-ICF70
ICF70-ICF114
ICF114-ICF114
真空シール方式
ベローズ方式
リーク量
1.3 x 10-11Pa・m3 / sec 最大 
移動距離
X-Y軸 ±5mm
重量
1.8kg
2.2kg
4.3kg

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