X-Yステージとは

X-Yステージとは、X軸 (左右) 方向とY軸(縦) 方向に動く位置決めステージです。

主な特徴として、

• フランジサイズが汎用性の高いICF70またはICF114のため、設計および取り付けが容易です。
• 超高真空領域での使用が可能です。
• 移動距離が±5mmのため、精密な位置合わせが可能です。