特徴 | ・ウェハー製造プロセスでの搬送向けに ・コンパクトなデザイン ・リペアキット交換でメンテナンスが簡単 |
動作 | 圧空式 |
フランジサイズ (ID) mm | 32 x 222 46 x 236 50 x 336 50 x 500 |
フィードスルー | 溶接ベローズ |
ゲート部シール | FKM / Kalrez / EPDM 他 Oリング材質に変更可 |
ボンネット部シール | FKM / Kalrez / EPDM 他 Oリング材質に変更可 |
レスポンスタイム | ≤ 2 sec |
圧力範囲 | 1 x 10-8 mbar to 1200 mbar |
バルブを開けるときの差圧 | ≤ 30 mbar |
ゲートにかけ得る差圧 | ≤ 1200 mbar |
リークレート | SUS:< 1 X 10-9 mbar L / sec AL:< 1 X 10-9 mbar L / se |
ライフサイクル | ≥ 1,000,000 回 |
バルブ本体 使用温度 | ≤ 200℃ |
アクチュエーター 使用温度 | ≤ 80℃ |
ベーキング温度 | ≤ 200℃ |
材質 | SUS304 A6061 アルマイト |
取付方向 | 自在 |
エアー圧力範囲 (N2) | 4~7 bar |
Transfer Valve (L-Motion) サイズ & 図面
詳細寸法 (図面等):準備中です
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