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Transfer Valve (L-Motion)

Transfer Valve (L-Motion)

Transfer Valve
角型ゲートバルブ (L-Motion)
動作デモ
特徴
・ウェハー製造プロセスでの搬送向けに
・コンパクトなデザイン
・リペアキット交換でメンテナンスが簡単

動作
 圧空式
フランジサイズ (ID) mm32 x 222
46 x 236
50 x 336
50 x 500 
フィードスルー溶接ベローズ
ゲート部シール
FKM / Kalrez / EPDM 他 Oリング材質に変更可
ボンネット部シールFKM / Kalrez / EPDM 他 Oリング材質に変更可
レスポンスタイム≤ 2 sec 
圧力範囲1 x 10-8 mbar to 1200 mbar 
バルブを開けるときの差圧
≤ 30 mbar
ゲートにかけ得る差圧 ≤ 1200 mbar
リークレートSUS:< 1 X 10-9 mbar L / sec
AL:< 1 X 10-9 mbar L / se
ライフサイクル≥ 1,000,000 回
バルブ本体 使用温度
≤ 200℃
アクチュエーター 使用温度≤ 80℃
ベーキング温度≤ 200℃
材質SUS304
A6061 アルマイト
取付方向自在
エアー圧力範囲 (N2)4~7 bar

Transfer Valve (L-Motion) サイズ & 図面

詳細寸法 (図面等):準備中です
下記より別途お問い合わせください。

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