Transfer Valve (I-Motion)
角型ゲートバルブ (I-Motion)
動作デモ
特徴 | ・ウェハー製造プロセスでの搬送向けに ・コンパクトなデザイン ・リペアキット交換でメンテナンスが簡単に |
動作 | 圧空式 |
| フランジサイズ (ID) mm | 32 x 232 46 x 236 50 x 336 56 x 500 |
| フィードスルー | 溶接ベローズ |
| ゲート部シール | FKM / Kalrez / EPDM 他 Oリング材質に変更可 |
| ボンネット部シール | FKM / Kalrez / EPDM 他 Oリング材質に変更可 |
| レスポンスタイム | ≤ 2 sec |
| 圧力範囲 | 1 x 10-10 mbar to 1200 mbar |
| バルブを開けるときの差圧 | ≤ 30 mbar |
| ゲートにかけ得る差圧 | ≤ 1200 mbar |
| リークレート | SUS: ＜ 1 x 10-9 mbar L/sec AL: ＜ 1 x 10-9 mbar L/sec |
| ライフサイクル | ≥ 1,000,000 回 |
| バルブ本体 使用温度 | ≤ 200℃ |
| アクチュエーター 使用温度 | ≤ 80℃ |
| ベーキング温度 | ≤ 200℃ |
| 材質 | SUS304 Al6061 アルマイト |
| 取付方向 | 自在 |
| エアー圧力範囲 (N2) | 4～7 bar |
Transfer Valve (I-Motion) サイズ & 図面
詳細寸法 (図面)：準備中です
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