3ポジション機能 (Valve Open, Valve Close, 3rd POSITION) を搭載した真空バルブ

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動作デモ (Multi Position)

特徴	・ 3ポジション機能を搭載：「Valve Open」「 Valve Close」「3rd POSITION」・ 9pin D-Subによりバルブと装置との接続状況確認が可能・圧空 / 手動のコンビネーション
動作	圧空式 (開閉度の調整は手動)
フランジサイズ	2.5"　～　12"
フランジタイプ	ISO、 JIS、 ASA、 CF
フィードスルー	溶接ベローズ
ゲート部シール	FKM / Kalrez / FPDM 他 Oリング材質に変更可
ボンネット部シール	FKM / Kalrez / FPDM 他 Oリング材質に変更可
閉鎖時間 (レスポンスタイム)	≤ 2sec
圧力範囲	2.5" ～ 6":1x10-10 mbar to 1400 bar 8" ～ 12":1x10-10 mbar to 1200 bar
ゲート部差圧	2.5" ～ 6" ： ≤ 1.4 bar 8" ～ 12" ： ≤ 1.2 bar
リークレート	≺ 1x10-10 mbar L/sec
ライフサイクル	200,000 回
バルブ本体使用温度	≤ 200℃
アクチュエーター使用温度	≤ 60℃
ベーキング温度	≤ 150℃
材質	本体 (SUS304) アクチュエーター (AL6061 アルマイト)
取付ポジション	自在
エアー圧力範囲 (N2)	4～7 bar

詳細寸法 (図面等) ：準備中です
下記より別途お問い合わせください。

TEL. 03-3456-2577