특징 | ・Triple Prevention Type ・밸브 컨트롤러 (1CH~4CH) |
동작 | 공압식 |
플랜지 사이즈 | 1.5" ~ 10" |
플랜지 타입 | ISO、 NW |
피드 스루 | 용접 벨로즈 |
게이트부 씰 | FKM O링 / 그 외 재질 가능 |
본넷 씰 | FKM O링 / 그 외 재질 가능 |
개폐시간 | ≤ 0.3 ~ 0.6 sec |
압력범위 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
게이트부 차압 | ≤ 1.4 bar |
leak rate | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
라이프 사이클 | 200,000 |
본체 사용온도 | ≤ 200℃ |
액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
베이킹 온도 | ≤ 150℃ |
재질 | 본체 (SUS304) 액츄에이터 (AL6061 아노다이징) |
설치방향 | any |
공기압 (N2) | 4~7kgf/cm2 |
Triple Prevention Gate Valve 도면
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