View port 소개
진공용 뷰포트는 주로
・대기쪽에서 챔버내부의 프로세스 관찰용
・대기측에서 챔버내부에 레이저등의 빔을 조사 하기위해
(광학재료) 등에 사용 됩니다
(광학재료) 등에 사용 됩니다
주요 취급 재료
・코발 (Kodial)
・사파이어
・용융석영 (Fused Silica)
(「용융석영」에 대해서는 투명율 그래프 옆의 설명란을 참조해주세요)
(「용융석영」에 대해서는 투명율 그래프 옆의 설명란을 참조해주세요)
뷰포트 사용 예
코발 (kodial) 투명율 그래프
그래프를 클릭하면 확대 가능
사파이어 투명율 그래프
그래프를 클릭하면 확대 가능
용융석영 투명율 그래프
그래프를 클릭하면 확대 가능
View port Series
Technical Data.
Kodial 뷰포트 기술자료
| UHV (ICF flange) | HV (NW, ISO flange) | |
| 뷰포트 씰링 방법 | 메탈 | 메탈 |
| 압력범위 | 1bar ~ 1x10-11mbar | 1bar ~ 1x10-11mbar |
| leak rate | < 1x10-10 atm-ccs/sec (He) | < 1x10-10 atm-ccs/sec (He) |
| 허용온도 | -20℃ ～ 350℃ | -20℃ ～ 150℃ |
| 베이킹 온도 | 300℃ | 150℃ |
| 1분간 최대 온도변화 | 3℃ | 3℃ |
| 주요 플랜지 재질 | 304L | NW:304L ISO:316L |
▼문의 접수 합니다
TEL.
03-3456-2577
