Transfer Valve (L-motion)
Transfer Valve (L-motion)
Opreration
특징 | ・반도체 프로세스 ・콤팩트한 디자인 ・리페어킷 교환으로 멘터넌스가 간단 |
작동 | 공압식 |
| 플랜지 사이즈 (ID) mm | 32 x 222 46 x 236 50 x 336 56 x 500 |
| 피드스루 | 용접 벨로즈 |
| 게이트부 씰링 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경가능 |
| 본넷 씰링 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경가능 |
| 레스폰스타임 | ≤ 2 sec |
| 압력범위 | 1 x 10 -10 mbar to 1200 mbar |
| 압력범위 | 1.5"～6": 1 x 10-10 mbar to 1400 mbar |
| 밸브 Open 시의 차압 | ≤ 30 mbar |
| 게이트부에 걸리는 차압 | ≤ 1200 mbar |
| Leak rate | SUS: ＜ 1 x 10-10 mbar L/sec AL: ＜ 1 x 10-10 mbar L/sec |
| 라이프 사이클 | ≥ 1,000,000 회 |
| 밸브 본체 사용온도 | ≤ 200℃ |
| 액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
| 베이킹 온도 | ≤ 200℃ |
| 재질 | SUS304 Al6061 아노다이징 |
| 설치방향 | Any |
| 에어 압력범위 (N2) | 4～7 bar |
