특징 | ・Triple Prevention Type ・밸브 컨트롤러 (1CH~4CH) |
동작 | 공압식 |
| 플랜지 사이즈 | 1.5" ~ 10" |
| 플랜지 타입 | ISO、 NW |
| 피드 스루 | 용접 벨로즈 |
| 게이트부 씰 | FKM O링 / 그 외 재질 가능 |
| 본넷 씰 | FKM O링 / 그 외 재질 가능 |
| 개폐시간 | ≤ 0.3 ~ 0.6 sec |
| 압력범위 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| 게이트부 차압 | ≤ 1.4 bar |
| leak rate | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| 라이프 사이클 | 200,000 |
| 본체 사용온도 | ≤ 200℃ |
| 액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
| 베이킹 온도 | ≤ 150℃ |
| 재질 | 본체 (SUS304) 액츄에이터 (AL6061 아노다이징) |
| 설치방향 | any |
| 공기압 (N2) | 4~7kgf/cm2 |
Triple Prevention Gate Valve 도면
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