PFEIFFER VACUUM사 신형 스크롤 펌프의 특징
Active line
・폭넓은 측정 범위 （10-9Pa～5.5×106Pa）
・전용 컨트롤러와 8종류 (측정원리별) 의 측정자를 라인업
・게이지 커넥터의 형상이 통일 되어 있기 때문에 복수의 컨트롤러가 불필요
・최대 6ch 의 게이지를 1대의 컨트롤러에 접속가능
・ Pa, Torr , mbar 압력단위 변경 가능
| 형식 | 명칭 | 플랜지 | 측정범위 (Pa) | |
| 상한 | 하한 | |||
| TPR280 | 피라니 게이지 | NW16 ICF34 | 1.0×105 | 5.0×10-2 |
| TPR281 | 내부식성 피라니 게이지 | |||
| TPR270 | 피라니 게이지 | NW16 ICF34 | 1.0×105 | 1.0×10-2 |
| TPR271 | 내부식성 피라니 게이지 | 5.0×10-2 | ||
| PCR280 | 피라니&커패시턴스 콤비네이션 게이지 | NW16 ICF34 | 1.5×105 | 5.0×10-3 |
| IKR360 | 콜드 캐소드 게이지 | NW25 NW40 ICF70 | 1 | 1.0×10-7 |
| IKR361 | ||||
| IKR270 | 5.0×10-9 | |||
| PKR360 | 피라니 & 콜드 캐소드 콤비네이션 게이지 | NW25 NW40 ICF70 | 1.0×105 | 1.0×10-7 |
| PKR361 | ||||
| IMR265 | 프로세스 이온 게이지 | NW16 NW25 NW40 ICF34 ICF70 | 1.0×105 | 2.0×10-4 |
| PBR260 | 피라니 & 핫 캐소드 콤비네이션 게이지 | NW25 NW40 ICF70 | 1.0×105 | 5.0×10-8 |
상기 제품 이외에도 라인업 제품이 있습니다. 별도 문의 부탁드립니다
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펌프 ＆ 진공계 컨트롤러 Omni Control 시리즈
Active line 용 공통 컨트롤러
| 형식 | 명칭 | 접속가능수 | 릴레이 회로 | 진공도 표시형식 |
| TPG366 | 맥시 게이지 컨트롤러 | 6 | 6 | 6ch 동시가능 |
