외관 치수도
기술 자료
NW 뷰포트 (HV) | |
| 뷰포트 씰링재 | 메탈 skirt |
| 뷰포트 연결 씰 | O링 센터링 |
| 압력범위 | 760 Torr ~ 1x10-8 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-8mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa |
| leak rate | 1x10-9Tor l/s, He 1.33x10-9mbar l/s, He 1.13x10-10kPa l/s, He |
| 허용온도 | -20℃ ～ 200℃ |
| 베이킹온도 | 150℃ |
| 1분간 최대 온도변화 | 3℃ |
| 주요 플랜지 재질 | SS304L |
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 | NW_ViewPort (235KB) |
