특징 | ・세라믹 볼 베어링으로 파티클을 저감 ・기존 Large 밸브에 비해 컴팩트한 디자인 |
작동 | 공압식 |
| 플랜지 사이즈 | 16"~30" |
| 플랜지 | ISO / JIS / ASA |
| 피드스루 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경 가능 |
| 게이트부 씰링 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경 가능 |
| 본넷부 씰링 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경 가능 |
| 레스폰스타임 | 조정가능 |
| 압력범위 | 1 X 10-8 mbar to 1000 mbar |
| 밸브 Open 시 차압 | ≤ 30 mbar |
| 게이트부에 걸리는 차압 | ≤ 1000 mbar |
| Leak rate | < 1 x 10 -9 mbar L/sec |
| 라이프 사이클 | 10,000~100,000 |
| 밸브 본체 사용온도 | ≤ 150℃ |
| 액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
| 베이킹 온도 | ≤ 150℃ |
| 재질 | SUS304 AL6061아노다이징 |
| 설치방향 | Any |
| 에어 압력범위 (N2) | 6 ~ 8 bar |


