| 특징 | 각종기능 추가가능: ・solenoid valve & Position 센서(15pin D-Sub) ・리미트 스위치 ・앵글밸브 ・Lock 기능 ・스피드 컨트롤러 & solenoid valve (2 Port+N2 Port) 는 스테인레스 튜브로 연결 (φ6) |
| 동작 | 공압식 |
| 플랜지 사이즈 | 4" ~ 8" |
| 플랜지 타입 | ISO, JIS, ASA, CF |
| 피드 스루 | 용접벨로즈 |
| 게이트 씰 | FKM / Kalrez / EPDM 그 외 O링 재질 대응가능 |
| 본넷 씰 | FKM / Kalrez / EPDM 그 외 O링 재질 대응가능 |
| 레스폰스타임 | ≤ 0.3 ~ 2sec |
| 압력범위 | 4"~6":1 x 10-10 mbar to 1400 mbar 8":1 x 10-10 mbar to 1200 mbar |
| 밸브 Open 시의 차압 | ≤ 30 mbar |
| 밸브 적용 차압 | 4"~6": 1400 mbar 8": 1200 mbar |
| leak rate | < 1 X 10 -10 mbar L/sec |
| 라이프 사이클 | 250,000 回 |
| 밸브 본체 사용온도 | ≤ 200℃ |
| 액츄에이터 사용온도 | ≤ 60℃ |
| 베이킹온도 | ≤ 150℃ |
| 재질 | 본체 (SUS304) 액츄에이터 (AL6061 아노다이징) |
| 설치방향 | any |
| 공기압 범위 (N2) | 4~7 bar |


