외관 치수도 - O링 타입
기술 자료
ISO 뷰포트 용접 타입 (HV) | |
| 뷰포트 씰링재 | O링 (Viton) |
| 뷰포트 연결 씰 | O링 센터링 |
압력범위 | 760 Torr~1x10-8 Torr 1,000mbar~1.33x10-8mbar 100kPa~1.13x10-9kPa |
| leak rate | 1x10-9Torr l/s, He 1.33x10-9mbar l/s, He 1.13x10-10kPa l/s, He |
| 허용온도 | -20℃～200℃ |
| 베이킹온도 | 150℃ |
| 1분간 최대 온도변화 | 3℃ |
| 주요 플랜지 재질 | SS304L |
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 | ISO-K_ViewPort (269KB) |
