Motor Gate Valve
feature | ・body material : stainless steel ・compact design ・position indication ・valve with stepper or servo motor ・monitor displays the position ・ Applications : Any other process that requires pressure control and isolation |
Operating | pneumatic |
| Flange size | 1.5" ～ 16" |
| Flange type | ISO、 JIS、 ASA、 CF |
| Feedthrough | stepper motor / servo motor |
| Gate seal | FKM O-ring / etc |
| Bonnet seal | FKM O-ring / etc |
| Operating pressure range | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| Differential pressure | 2.5" ～ 6" ： ≤ 1.4 bar 8" ～ 16" ： ≤ 1 bar |
| Leak rate | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| Cycles until first service | 200,000 |
| アクチュエーター 使用温度 | ≤ 60℃ |
| ベーキング温度 | ≤ 150℃ |
| 材質 | SUS304、 AL6061 アルマイト |
| 取付けポジション | どちらでも可 |
| 空気圧 (N2) | 4～7kgf/cm2 |
