HV Gate Valve
手动型
操作演示（气动型）
特征 | ・通过陶瓷球机制实现低粒子 ・更换维修套件，方便维护 |
动作 | 手动/ 气动 |
| 法兰尺寸 | 1.5" ～ 14" |
| 法兰类型 | ISO、 JIS、 ASA、 CF |
| 真空穿通件 | 焊接波纹管 |
| 阀门部 密封件 | FKM O型圈/ 可嵌入其他材质 |
| 引擎盖密封 | FKM O型圈/可嵌入其他材质 |
| 闭锁时间 | ≤ 2sec |
| 圧力范围 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| 阀门部 差圧 | 1.5" ～ 14" ： ≤ 1.4 bar 16" ～ 22" ： ≤ 1 bar |
| 泄露率 | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| 生命周期 | 250,000 |
| 本体部 使用温度 | ≤ 200℃ |
| 执行器使用温度 | ≤ 80℃ |
| 烘烤温度 | ≤ 150℃ |
| 材質 | 本体（SUS304、SUS316L） 执行器 AL6061 阳极氧化 |
| 安装位置 | 均可 |
| 气压范围 (N2) | 4～7kgf/cm2 |
