该产品是主要用于半导体制造工艺的高纯度气体过滤器。

特征

・高分化效果和过滤精度

・优异的耐压性和耐腐蚀性

・优异的气体置换特性

• 100% HE泄漏测试（1.0 x 10 -9 atm cc/sec）

・100%颗粒测试（未检测到0.0025μm以上）

・在100级洁净室中制造、测试和包装

【常用规格】

颗粒补充率 99.9999999%

过滤精度 0.0025μm

外壳材料 SUS316 哈氏合金 C-22

内表面处理：≦Ra 5μinch （≈0.127μM）

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