特征 | ・ 可通过Multi Position来调整开关 ・ 通过9pin D-Sub能够确认阀与装置的连接状况 |
动作 | 圧空式 (手动调整开关度) |
| 法兰尺寸 | 2.5" ～ 12" |
| 法兰类型 | ISO、 JIS、 ASA、 CF |
| 真空穿通件 | 焊接波纹管 |
| 阀门部密封 | FKM O型圈 / 可嵌入其他材质 |
| 引擎盖密封 | FKM O型圈 /可嵌入其他材质 |
| 閉鎖時間 | ≤ 2sec |
| 圧力範囲 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| 阀门部 差圧 | 1.5" ～ 14" ： ≤ 1.4 bar 16" ～ 22" ： ≤ 1 bar |
| 泄露率 | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| 生命周期 | 200,000 |
| 本体部 使用温度 | ≤ 200℃ |
| 执行器 使用温度 | ≤ 80℃ |
| 烘烤温度 | ≤ 150℃ |
| 材质 | SUS304、 AL6061 阳极氧化 |
| 安装位置 | 均可 |
| 空气圧 (N2) | 4～7kgf/cm2 |
Motor Gate Valve 电动闸阀
