特征 | ・Double Prevention Type ・带阀控制器 (1CH～4CH) |
动作 | 圧空式 |
| 法兰尺寸 | 1.5" ～ 10" |
| 法兰类型 | ISO、 NW |
| 真空穿通件 | 焊接波纹管 |
| 阀门部 密封 | FKM O型圈 / 可嵌入其他材质 |
| 引擎盖密封 | FKM O型圈 /可嵌入其他材质 |
| 闭锁時間 | ≤ 0.3sec |
| 圧力范围 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| 阀门部 差圧 | ≤ 1.4 bar |
| 泄露率 | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| 生命周期 | 200,000 |
| 本体部 使用温度 | ≤ 200℃ |
| 控制器 使用温度 | ≤ 80℃ |
| 烘烤温度 | ≤ 150℃ |
| 材质 | SUS304、 AL6061 阳极氧化 |
| 安装位置 | 均可 |
| 空气圧 (N2) | 4～7kgf/cm2 |
Protection Gate Valve 保护阀
