Transfer Valve (L-Motion)
矩形闸阀 (L-Motion)
动作演示
| 特征 | • 用于晶圆制造过程中的运输 ・轻巧设计 ・更换维修套件即可轻松维护 |
| 动作 | 气动式 |
| 法兰尺寸 (ID) mm | 32 x 222 46 x 236 50 x 336 50 x 500 |
| 贯穿件 | 焊接波纹管 |
| 浇口部密封件 | FKM / Kalrez / EPDM 等 O型圈材质可变更 |
| 阀盖部密封件 | FKM / Kalrez / EPDM 等 O型圈材质可变更 |
| 响应时间 | ≤ 2 sec |
| 圧力范围 | 1 x 10-8 mbar to 1200 mbar |
| 打开阀门时的压差 | ≤ 30 mbar |
| 可施加在浇口的压差 | ≤ 1200 mbar |
| 泄漏率 | SUS：＜ 1 X 10-9 mbar L / sec AL：＜ 1 X 10-9 mbar L / se |
| 生命周期 | ≥ 1,000,000 回 |
| 阀体 使用温度 | ≤ 200℃ |
| 执行器使用温度 | ≤ 80℃ |
| 烘烤温度 | ≤ 200℃ |
| 材质 | SUS304 A6061阳极氧化 |
| 安装方向 | 自由 |
| 气压范围 (N2) | 4～7 bar |
Transfer Valve (L-Motion) 尺寸 & 图面
详细尺寸（图面）准备中。
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