파이퍼베큠 터보분자펌프의 특징
・ 업계 톱클래스의 기본성능
압축비 , 도달진공도 , 가스유량
・ 사용환경에 맞춰 사양선택가능
드라이브 회로탑재 ( 전원탑재 모델도 있습니다)
드라이브 회로분리형 타입
・ 악세사리의 자동인식 (플러그 앤 플레이)
배선작업의 불필요
・ 월드와이드서비스
일본국내뿐만 아니라 전세계에서 서비스가 가능
베어링형 (하이브리드 베어링) 터보 분자 펌프
| 기종 | 접속 플랜지 | 배기속도 N2(l/s) | 배기속도 H2(l/s) | 도달진공도 (Pa) | 설치방향 | 카탈로그 |
| HiPace10 | NW25 | 10 | 3.7 | 5.0×10-3 | 자유 | |
| HiPace30 | NW40 | 22 | 19 | 1.0×10-5 | | |
| ISO63 | 32 | 20 | ||||
| ICF114 | 32 | 20 | 5.0×10-8 | |||
| HiPace80 | NW40 | 35 | 38 | 1.0×10-5 | ||
| ISO63 | 67 | 48 | ||||
| ICF114 | 5.0×10-8 | |||||
| HiPace300H 고압축비 모델 | ISO100-K ISO100-F | 260 | 220 | 1.0×10-5 | ||
| ICF152 | 1.0×10-8 | |||||
| HiPace300 | ISO100-K ISO100-F | 260 | 220 | 1.0×10-5 | ||
| ICF152 | 5.0×10-8 | |||||
| HiPace350 | ISO100-K | 300 | 300 | 1.0×10-5 | ||
| ICF152 | 5.0×10-8 | |||||
| HiPace450 | ISO160-K | 380 | 330 | 1.0×10-5 | ||
| ICF203 | 5.0×10-8 | |||||
| HiPace700H 고압축비 모델 | ISO160-K ISO160-F | 685 | 555 | 1.0×10-5 | ||
| ICF203 | 1.0×10-8 | |||||
| HiPace700 | ISO160-K ISO160-F | 685 | 555 | 1.0×10-5 | ||
| ICF203 | 5.0×10-8 |
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상기 이외의 배기속도의 제품도 라인업 되어 있습니다. 희망하시는 고객은 문의 부탁드립니다.
