ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ排気システムの特徴
・大学官庁等の研究機関で圧倒的な実績
・業界トップレベルの基本性能
・ターボ分子ポンプと粗引排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
・7インチタッチディスプレイによる簡易操作で、ファイファーバキューム社真空計のモニタリングが可能
・アクセサリー類の自動認識
・ワールドワイドサービス
・ユニットからターボ分子ポンプの切離しが可能(オプション)
ハイキューブネオ (卓上型)
テクニカルデータ
| HiCube80Neo | HiCube300 Neo / 300H Neo | |||||
| 接続口フランジ | NW40 | ISO63-K | ICF114 | ISO100-K | ICF152 | |
| 排気速度 窒素N2(L/sec) | 35 | 67 | 260 | |||
| 到達真空度(Pa) | 1.0×10-5 | 5.0×10-8 | 1.0×10-5 | 1.0×10-8 | ||
| バックポンプ 排気速度(L/min) | MVPO15-2:16.7 MVP030-3:30 | MVP030-3:30 | ||||
| 最大回転速度での定格出力 | 205W / 165W | 230VA | ||||
| 重量 (kg) MVP015 / MVP030 HiCube300はMVO030のみ | 14.5 / 16 | 20.5 | 22.5 | |||
詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。
ハイキューブネオ (床置き型)
テクニカルデータ
| HiCube80Neo | HiCube300Neo / 300HNeo | HiCube350Neo | HiCube400Neo | |||||||
| 接続口フランジ | NW40 | ISO63-K | ICF114 | ISO100-K | ICF152 | ISO100-K | ICF152 | ISO100-K | ICF152 | |
| 排気速度 窒素N2 (L/sec) | 35 | 67 | 260 | 300 | 355 | |||||
| 到達真空度(Pa) | 1.0×10-6 | 5.0×10-8 | 1.0×10-6 | 1.0×10-6/ 5.0×10-8 | 1.0×10-6 | 5.0×10-8 | 1.0×10-6 | 5.0×10-8 | ||
| 背圧ポンプの排気速度(L/ min : 50Hzの場合) | ||||||||||
| 油回転ポンプ | DUO6M | 83.3 | 83.3 | 83.3 | 83.3 | |||||
| DUO11M | 150 | 150 | 150 | 150 | ||||||
| DUO20M | 333.3 | 333.3 | 333.3 | 333.3 | ||||||
| SmartVane 55 | 517 - 833 | 517 - 833 | 517 - 833 | 517 - 833 | ||||||
| SmartVane 70 | 517 - 1,167 | 517 - 1,167 | 517 - 1,167 | 517 - 1,167 | ||||||
| ドライポンプ | HiScroll6 | 101.6 | 101.6 | 101.6 | 101.6 | |||||
| HiScroll12 | 201.6 | 201.6 | 201.6 | 201.6 | ||||||
| HiScroll18 | 301.6 | 301.6 | 301.6 | 301.6 | ||||||
| ACP15 | 223 | 223 | 223 | 223 | ||||||
| ACP28 | 450 | 450 | 450 | 450 | ||||||
| ACP40 | 616 | 616 | 616 | 616 | ||||||
| HiCube450Neo | HiCube700Neo / 700HNeo | HiCube800Neo / 800HNeo | |||||
| 接続口フランジ | ISO160-K | ICF203 | ISO160-K | ICF203 | ISO160-K | ICF203 | |
| 排気速度 窒素N2 (L/sec) | 380 | 685 | 790 | ||||
| 到達真空度(Pa) | 1.0×10-5 | 5.0×10-8 | 1.0×10-5 | 1.0×10-8/ 5.0×10-8 | 1.0×10-5 | 5.0×10-8 | |
| 背圧ポンプの排気速度(L/ min: 50Hzの場合) | |||||||
| 油回転ポンプ | DUO6M | 83.3 | 83.3 | 83.3 | |||
| DUO11M | 150 | 150 | 150 | ||||
| DUO20M | 333.3 | 333.3 | 333.3 | ||||
| SmartVane 55 | 517 - 833 | 517 - 833 | 517 - 833 | ||||
| SmartVane 70 | 517 - 1,167 | 517 - 1,167 | 517 - 1,167 | ||||
| ドライポンプ | HiScroll6 | 101.6 | 101.6 | 101.6 | |||
| HiScroll12 | 201.6 | 201.6 | 201.6 | ||||
| HiScroll18 | 301.6 | 301.6 | 301.6 | ||||
| ACP15 | 223 | 223 | 223 | ||||
| ACP28 | 450 | 450 | 450 | ||||
| ACP40 | 616 | 616 | |||||
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03-3456-2577




