ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ排気システムの特徴

・大学官庁等の研究機関で圧倒的な実績

・業界トップレベルの基本性能

・ターボ分子ポンプと粗引排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動

・7インチタッチディスプレイによる簡易操作で、ファイファーバキューム社真空計のモニタリングが可能

・アクセサリー類の自動認識

・ワールドワイドサービス

・ユニットからターボ分子ポンプの切離しが可能（オプション）

ハイキューブネオ (卓上型)

• シンプル接続とタッチパネルによる簡単操作。
• 高真空レンジ向けの用途に適した、コンパクトな排気ユニット。
• 小型で空冷仕様、バックポンプにダイアフラムポンプを搭載した
  ドライな排気ユニット。
• ファイファーバキューム社の真空計と組み合わせが可能。
  (真空計のコントローラーが不要)
• 研究・実験用、分光学、表面検査、小型コーティングシステム、
  リークチェック等の用途にも使用可能です。

テクニカルデータ

		HiCube80Neo			HiCube300 Neo / 300H Neo
接続口フランジ		NW40	ISO63-K	ICF114	ISO100-K	ICF152
排気速度 窒素N2(L/sec)		35	67		260
到達真空度(Pa)		1.0×10-5		5.0×10-8	1.0×10-5	1.0×10-8
バックポンプ 排気速度(L/min)		MVPO15-2：16.7    MVP030-3：30			MVP030-3：30
最大回転速度での定格出力		205W / 165W			230VA
重量 (kg) MVP015 / MVP030 HiCube300はMVO030のみ		14.5 / 16			20.5	22.5

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。

ハイキューブネオ　(床置き型)

・用途に応じてターボ分子ポンプとバックポンプの組み合わせが可能。

・ストッパー付きキャスター搭載により移動が簡単。

・各々のコンポーネントは利便性の良い、モジューラーライン。

・Plug and Play, ユーザーサイドで固定作業をしなくても全自動運転を行うユニット。

・各機能は、リモート制御運転が可能。

・豊富なオプション (自動ベントバルブ、フォアバキュームバルブ、水冷仕様等)

・排気ユニット内の据付調整、ケーブル配線は必要ありません。

・様々な用途へ、最適な運転でご使用いただけます。

テクニカルデータ

		HiCube80Neo			HiCube300Neo / 300HNeo		HiCube350Neo		HiCube400Neo
接続口フランジ		NW40	ISO63-K	ICF114	ISO100-K	ICF152	ISO100-K	ICF152	ISO100-K	ICF152
排気速度  窒素N2 (L/sec)		35	67		260		300		355
到達真空度(Pa)		1.0×10-6		5.0×10-8	1.0×10-6	1.0×10-6/ 5.0×10-8	1.0×10-6	5.0×10-8	1.0×10-6	5.0×10-8
背圧ポンプの排気速度(L/ min : 50Hzの場合)
油回転ポンプ	DUO6M	83.3			83.3		83.3		83.3
	DUO11M	150			150		150		150
	DUO20M	333.3			333.3		333.3		333.3
	SmartVane 55	517 - 833			517 - 833		517 - 833		517 - 833
	SmartVane 70	517 - 1,167			517 - 1,167		517 - 1,167		517 - 1,167
ドライポンプ	HiScroll6	101.6			101.6		101.6		101.6
	HiScroll12	201.6			201.6		201.6		201.6
	HiScroll18	301.6			301.6		301.6		301.6
	ACP15	223			223		223		223
	ACP28	450			450		450		450
	ACP40	616			616		616		616

		HiCube450Neo		HiCube700Neo /  700HNeo		HiCube800Neo /  800HNeo
接続口フランジ		ISO160-K	ICF203	ISO160-K	ICF203	ISO160-K	ICF203
排気速度 窒素N2 (L/sec)		380		685		790
到達真空度(Pa)		1.0×10-5	5.0×10-8	1.0×10-5	1.0×10-8/ 5.0×10-8	1.0×10-5	5.0×10-8
背圧ポンプの排気速度(L/ min： 50Hzの場合)
油回転ポンプ	DUO6M	83.3		83.3		83.3
	DUO11M	150		150		150
	DUO20M	333.3		333.3		333.3
	SmartVane 55	517 - 833		517 - 833		517 - 833
	SmartVane 70	517 - 1,167		517 - 1,167		517 - 1,167
ドライポンプ	HiScroll6	101.6		101.6		101.6
	HiScroll12	201.6		201.6		201.6
	HiScroll18	301.6		301.6		301.6
	ACP15	223		223		223
	ACP28	450		450		450
	ACP40	616		616

詳しい仕様につきましては、お問い合わせください。