直線導入機
直線導入機は、真空チャンバー内にあるサンプル等を大気側から直線運動で操作できる機器です。
真空中に取り付けられた機器の直線運動を、真空度を変えることなく外部から制御できます。
真空中に取り付けられた機器の直線運動を、真空度を変えることなく外部から制御できます。
溶接ベローズを採用しているので、超高真空領域でも使用が可能です。
製品仕様
フランジ | ハンドル径(mm) | シャフト長(mm) | シャフト径(mm) | 精度(mm) | リークレート (Pa L/s-1) |
ICF34 | 38.0 | 18.0+S | φ6.0 | 0.1 | <1.33 x 10-9 |
ICF70 | 50.0 | 18.0+S | φ8.0 | 0.1 | <1.33 x 10-9 |
S: 移動距離をカスタマイズにて指定します。
【仕様】
- 移動距離：50mm
- 溶接ベローズ真空シール
- 高分解能のスクリュー駆動式直線運動
- オールメタルで構成
- 取付方向自由
- ベーキング温度：200℃以下
- カスタム設計・製造にも対応いたします
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TEL.
03-3456-2577