UHV Gate Valve
圧空式
動作デモ (手動タイプ)
特徴 | ・セラミックボールメカニズムによる低パーティクルを実現 ・リペアキット交換でメンテナンスが簡単 |
動作 | 手動式 / 圧空式 |
| フランジサイズ | 1.5"～12" (ICF70 ～ ICF356) |
| フランジタイプ | CF (ICF) |
| フィードスルー | 溶接ベローズ (AM350 or SUS316L) |
| ゲート部 シール | FKM / Kalrez / EPDM Oリング材質に変更可 |
| ボンネット部 シール | 銅ガスケット |
| 閉鎖時間 (レスポンスタイム) | ≤ 2sec |
| 圧力範囲 | 1.5"～6":1x10-10 mbar to 1400 bar 8"～12":1x10-10 mbar to 1200 bar |
| バルブを開けるときの差圧 | ≤ 30 mbar |
| リークレート | ≺ 1x10-10 mbar L/ sec |
| ライフサイクル | 200,000 回 |
| バルブ本体 使用温度 | ≤ 250℃ |
| アクチュエーター 使用温度 | ≤ 150℃ |
| ポジションインジケーター使用温度 | ～ 150℃ |
| ベーキング温度 | ≤ 200℃ |
| 材質 | 本体 (SUS304 or SUS316L) アクチュエーター (AL6061 アルマイト) |
| 取付ポジション | 自在 |
| エアー圧力範囲 (N2) | 4～7 bar |