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UHV Gate Valve

UHV Gate Valve

圧空式
動作デモ (手動タイプ)
特徴
・セラミックボールメカニズムによる低パーティクルを実現
・リペアキット交換でメンテナンスが簡単

動作
動式 / 圧空式
フランジサイズ1.5"~12" (ICF70 ~ ICF356)
フランジタイプCF (ICF)
フィードスルー溶接ベローズ (AM350 or SUS316L)
ゲート部 シールFKM / Kalrez / EPDM  Oリング材質に変更可
ボンネット部 シール銅ガスケット
閉鎖時間 (レスポンスタイム)≤ 2sec
圧力範囲1.5"~6":1x10-10 mbar to 1400 bar
8"~12":1x10-10 mbar to 1200 bar 
バルブを開けるときの差圧≤ 30 mbar
リークレート≺ 1x10-10 mbar L/ sec
ライフサイクル200,000 回
バルブ本体 使用温度≤ 250℃
アクチュエーター 使用温度≤ 150℃
ポジションインジケーター使用温度~ 150℃
ベーキング温度
≤ 200℃
材質本体 (SUS304 or SUS316L)
アクチュエーター (AL6061 アルマイト)
取付ポジション自在
エアー圧力範囲 (N2)4~7 bar

Gate Valve サイズ & 図面

        CF 規格 手動式

ポート
型番
PDF
CAD
ICF 70
SPGV1.5-MCFU
ICF 114
SPGV2.5-MCFU
ICF 152
SPGV04-MCFU
ICF 203
SPGV06-MCFU
ICF 253
SPGV08-MCFU
ICF 305
SPGV10-MCFU
ICF 356
SPGV12-MCFU

       CF 規格 圧空式

ポート
型番
PDF
CAD
ICF 70
SPGV1.5-PCFU
ICF 114
SPGV2.5-PCFU
ICF 152
SPGV04-PCFU
ICF 203
SPGV06-PCFU
ICF 253
SPGV08-PCFU
ICF 305
SPGV10-PCFU
ICF 356
SPGV12-PCFU

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