ICF 뷰포트 치수도 및 투과율 그래프
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치수표
플랜지 | 제품코드 | Ａ | D1 | D2 | D3 |
ICF34 | ICF34-VK | 12.7 | 34 | 18 | 16 |
ICF70 | ICF70-VK | 12.7 | 70 | 38 | 39 |
ICF114 | ICF114-VK | 17.4 | 114 | 72 | 63 |
ICF152 | ICF152-VK | 19.9 | 152 | 106 | 89 |
ICF203 | ICF203-VK | 22.3 | 203 | 156 | 136 |
ICF253 | ICF253-VK | 24.6 | 254 | 156 | 136 |
기술 자료
| ICF 뷰포트 (UHV) | |
| 뷰포트 씰링재 | 무산소동 가스켓 |
| 압력범위 | 1 bar ~ 1 × 10⁻¹¹ mbar |
| leak rate | < 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/s |
| 허용온도 | -20℃ ～ 350℃ |
| 베이킹온도 | 350℃ |
| 1분간 최대온도변화 | 3℃ |
| 주요 플랜지 재질 | SUS304L |
