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八光産業 株式会社はOリングやプラスチックなどのシール材から真空部品や継手を取扱う商社です。

TEL. 03-3456-2577

〒108-0073 東京都港区三田2-7-23 デリス三田2F

自動ゲートバルブAuto Gate Valve

■機能
 ・バルブ閉鎖時間0.3秒以下
 ・特許取得済シールド機構
 ・シールされたベローズアクチュエータ―
 ・悪条件下でも長寿命
 ・開閉サイクル時の低衝撃/低振動
 ・ステータスLCDディスプレイ付メインコントロール
 ・容易なメンテナンス
 ・1〜4chコントロールオプション
 ・ローカル/リモート「ロック」オプション


■応用例
 高難度の処理での真空ポンプ又はチャンバーの分離
 ・プラズマエッチング、クリーニング、デスミアリング
 ・CVD処理(MO、PE、HDP、LP、APを含む)
 ・スパッタおよびeビーム/熱蒸着
 ・高分子レベルでのナノテクノロジー処理
 ・薄膜光起電性パネル

■仕様
<圧力範囲> 1x10-9mbar ~ 1.4bar(1x10-14〜0.14MPa)
<リークレート> 1I10-10mbar・L/sec(1x10-11Pa・m3/sec)
<空気圧> 3.5 〜 7kgf/cu
<ライフサイクル> 約100,000回
<材質>      本体 STS304 
 ベローズ AM350 / STS316L 
アクチュエータ−   AL6061
シール  FKM  
保護リング  STS304 
 温度  本体  ≦180℃ 
アクチュエーター  ≦150℃ 

バナースペース

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■特殊ゲートバルブ
保護ゲートバルブ

ヒーティングバルブ